1　工作原理 工作區(qū)的空氣經(jīng)臺面前后兩側(cè)回風(fēng)口由風(fēng)機抽入經(jīng) 中效過濾器后進入靜壓箱,通過送風(fēng)到過濾器過濾 后,從出風(fēng)面送出,形成潔凈氣流,并以斷面風(fēng)速經(jīng) 過工作區(qū),將塵埃顆粒帶走,從而形成高潔凈的工作環(huán) 境。潔凈工作臺按氣流形成分為: 垂直層流潔凈工作臺 和水平層流潔凈工作臺。

2　潔凈工作臺校準項目及技術(shù)要求

3　校準條件

3. 1　環(huán)境條件 溫度( 20±5)℃,相對濕度<75%RH。

3. 2　校準儀器 ( 1)過濾器檢漏儀: 泄漏量程( 0. 0001%～ 100) ,重 復(fù)性 0. 05%; ( 2)塵埃粒子計數(shù)器: 測量范圍( 0. 3～ 10) μ m,允許誤 差±30%,流量 28. 3L/min ; ( 3)熱球風(fēng)速儀: 測量范圍( 0. 05～ 30) m/s,允許誤差 ±3%; ( 4)聲級計: 測量范圍( 30～ 100) dB ,允許誤差±1dB; ( 5)振動儀: 頻率( 2～ 500) Hz; 位移 0. 1μ m～ 1. 5mm; 加速度( 0. 01～ 10) g; ( 6) 照度計: 測量范圍( 0～ ±2000) Ix ,允許誤差±4%

4　校準方法

4. 1　檢漏 向空氣過濾器上游測發(fā) DOP 氣溶膠(*) ,用 采樣器在過濾器下游例約 2. 5cm 處檢漏儀進行巡檢 掃描,巡檢速度≤5cm/s,當(dāng)下游測濃度與上游側(cè)濃度的 比大于 0. 01%時,則認為有明顯泄漏,應(yīng)進行堵漏。

4. 2　潔凈度 采樣時采用 28. 3L/min 的塵埃粒子計數(shù)器,也可采 用小流量塵埃粒子計數(shù)器,但采樣量得小于 1L。當(dāng)吸風(fēng) 口處的氣溶膠濃度達到穩(wěn)定條件下,在距主過濾器或整 流格柵出口 250mm 的平行斷面的中心處連續(xù)測試 5 次, 求其平均值。

4. 3　風(fēng)速 在主過濾器或擴散板下游 10cm 處的平面,把該平面 面積分成不得少于 12 等分面積,各面積中心點為風(fēng)速測 點,各測點之間距離不應(yīng)大于 25cm,用熱球風(fēng)速儀或熱 敏電阻風(fēng)速儀來測量各點風(fēng)速,取平均值為截面風(fēng)速。 風(fēng)速均勻性按下式計算: Y =Vmax(min)-V V ×100式中: Y —風(fēng)速均勻性, %; V—截面風(fēng)速較大值或較 小值,m/s; V—截面平均風(fēng)速,m/s。

4. 4　噪聲 測試噪聲的環(huán)境在室內(nèi)比較開闊的、較硬實反射地 面上進行測量。設(shè)備操作區(qū)開口處,若設(shè)有檔板應(yīng)全部 開啟,特利注意避免氣流產(chǎn)生的風(fēng)壓、振動等帶來的影 響。噪聲測量點應(yīng)布置在工作臺中心,距臺面前沿 20cm 處,高度為 110cm,共測四次,取平均值為測量結(jié)果。

4. 5　振動 潔凈工作臺應(yīng)放置在振動比較小的地面上,避免周 圍環(huán)境環(huán)的影響,工作臺在正常運行條件下,將振動分析 計的拾振器放置于操作面的幾何中心,測出 X、Y、Z 三個 軸向的總振幅值。

4. 6　照明 在潔凈工作臺橫向的中心線上,均勻布置三個點,用 照度計測量其照度,取平均值為測量結(jié)果。

5　注意事項

（1）測量時要避免外界風(fēng)速、電磁場、振動等影響。

(2)工作臺的工作區(qū)不要放置與檢測無關(guān)的物品,保 持工作區(qū)干凈。

(3)在測量過程中,發(fā)現(xiàn)有 5μ m 的塵埃粒子時,應(yīng)進 行多次測量,多次出現(xiàn) 5μ m 的粒子,這時認為測量數(shù)據(jù) 有效。

(4)用塵埃粒子計數(shù)器測量潔凈度時,塵埃粒子計數(shù) 器要經(jīng)自凈,測量還有一個平衡過程,次或第二次測 量的數(shù)據(jù)不要作為測量結(jié)果。

(5)潔凈工作臺使用一年后,應(yīng)進行校準,保證性能 的可靠。